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有原型:需要外加电源才能输出电量,又称能量控制型(主要有:电阻式、电容式、电感式、霍尔式)。按输出信号的性质分类开关型(二值型):是“1”和“0”或开(ON)和关(OFF);模拟型:输出是与输入物理量变换相对应的连续变化的电量,其输入/输出可线性,也可非线性;数字型:计数型:又称脉冲数字型,它可以是一种脉冲发生器所发出的脉冲数与输入量成正比;代码型(又称编码型):输出的信号是数字代码,各码道的状态随输入量变化。其代码“1”为高电平,“0”为低电平。
度:简称精度,它表示传感器的输出结果与被测量的实际值之间的符合程度,是测量值的精密程度与准确程度的综合反映。分辨力是指传感器能检出被测量的小变化量。动态特性:反映了传感器对于间变化的动态量的响应特性,传感器的响应特性在所测频率范围内努力保持不失真测量条件。一般地,利用光电效应、压电效应等物性型传感器,响应时间快,工作频率范围宽。环境参数:指传感器允许使用的工作温度范围以及环境压力、环境振动和冲击等引起的环境压力误差,环境振动误差和冲击误差。
利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后,其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容(包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容)影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量,ε为两板间介质的介电常数,S为板相互覆盖面积,d为板间距。