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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
定义:利用线圈自感和互感的变化实现非电量电测的一种装置。根据转换原理不同，可分为自感式和互感式两种；根据结构不同，可分为气隙型和螺管型两种。特点:结构简单，，测量力小；分辨力高；重复性好，线性度好。不足:存在交流零位信号，不宜高频动态测量。是一种有源传感器。它以某种电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面产生电荷，从而实现非电量测量的目的。为力敏感元件。压电效应:某些电介质，当沿着一定方向对其施加力使其变形时，内部产生化现象，同时在它两个表面产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。当外力方向改变时，电荷性也随之改变。代表物质有石英晶体、压电陶瓷等。
组成:一般包括敏感元件、转换元件和测量电路，有时还需要辅助电源。敏感元件:并非非电量直接变换为电量，有时需要将其转换成另一种易于变成电量的非电量，然后再变换为电量。完成预变换的器件，又称为预变换器，如各种弹性元件。转换元件:将感受到的非电量直接转换成电量的器件，如压电晶体、热电偶等。敏感元件和转换元件有时可以合二为一。信号调理与转换电路:将转换元件输出的电信号放大并转变成易于处理、显示和记录的信号。常用的有电桥电路、高阻抗输入电路和振荡器电路