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振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。集成传感器:是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器:则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器:是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。
它的基本特性有:测量范围、灵敏度、过载能力、稳定性、重复性、环境参数、分辨参数、度等。下面来说一下传感检测技术经常使用现代科学技术的机电一体化系统的朋友都知道,传感检测技术是我们现代科学生产设备的关键技术之一,它可以进行信息获取、信息传输、信息转换、信息处理等功能,从而使我们所要检测的物理量,以简洁明了的形式向我们展现出来。就像是电脑app与编程源码之间的关系,一个是的本质的问题,一个是大众能够看得懂、可以使用的东西。主要应用于机电一体化技术中、加工制造中心、计算机行业等高新技术产业区中。
分辨力是指传感器可能感受到的被测量的小变化的能力。也就是说,如果输入量从某一非零值缓慢地变化。当输入变化值未超过某一数值时,传感器的输出不会发生变化,即传感器对此输入量的变化是分辨不出来的。只有当输入量的变化超过分辨力时,其输出才会发生变化。通常传感器在满量程范围内各点的分辨力并不相同,因此常用满量程中能使输出量产生阶跃变化的输入量中的大变化值作为衡量分辨力的。上述若用满量程的百分比表示,则称为分辨率。