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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
电化学传感器的分类电化学传感器的分类方法很多，按照其输出信号的不同可以分为电位型传感器、电流型传感器和电导型传感器。按照电化学传感器所检测的物质不同，电化学传感器主要可以分为离子传感器、气体传感器和生物传感器。四、电化学传感器主要性能与影响因素影响灵敏度因素主要有:催化剂活性、进气量、电解液导电能力、环境温度等影响响应恢复速度的因素主要有:催化剂活性、电解液导电能力、气室结构、气体特性等
湿敏传感器是能够感受外界湿度变化，并通过器件材料的物理或化学性质变化，将湿度转化成有用信号的器件。理想的湿敏传感器的特性要求是，适合于在宽温、湿范围内使用，测量精度要高；使用寿命长，稳定性好；响应速度快，湿滞回差小，重现性好；灵敏度高，线形好，温度系数小；制造工艺简单，易于批量生产，转换电路简单，成本低；抗腐蚀，耐低温和高温特性等。声敏传感器是一种用于流量检测的传感器，该传感器接线时可带电设定，在高/低灵敏度的量程模式下操作。高灵敏度量程适用于在40db波动的高频信号。低灵敏度量程应用于在28db到68db波动的高频信号。该传感器通过提供外部电源，可独立于控制设备，独自进行操作。声敏传感器主要应用于固体流量探测。同时，该设备也可用于水泵气蚀和液体泄漏的检测，然后产生的声音报警。