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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后,其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容(包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容)影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量,ε为两板间介质的介电常数,S为板相互覆盖面积,d为板间距。
选择性/交叉干扰影响选择性的因素有:催化剂种类、电解液、偏置电压、过滤器等重复性/长期稳定性影响重复性的因素有:电结构稳定性、电解液稳定性、气路稳定性等影响高低温稳定性的因素有:催化剂活性、电结构稳定性、气体特性电化学传感器的四大应用电化学传感器广泛应用于工业和民用领域的气体检测,可检测臭氧、甲醛、一氧化碳、氨气、硫化氢、二氧化硫、二氧化氮、氧气等多种气体,常用于便携式仪表和气体在线监测仪表中。
传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成,敏感元件直接感受被测量,并输出与被测量有确定关系的物理量信号;转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号;变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制;转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。传感器早可以应用于工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等其之泛的领域。传感器可以的获取的信息,获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段,因此应用范围十分广泛。