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振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。集成传感器:是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器:则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器:是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。
传感器的组成与分类传感器通常由敏感元件、转换元件及基本转换电路组成,敏感元件是能够灵敏地感受被测景并按确定关系做出响应的元件;转换元件是将敏感元件所感受的被测量转换成电路参数(如电阻、电感和电容)或电量(如电压、电流)的元件;基本转换电路是将转换元件的输出转换成便于传输和处理电量的电路。传感器组成某些传感器可以仅由敏感元件和转换元件组成,而某些传感器的敏感元件和转换元件可合二为一,简单的传感器是由一个敏感元件(兼转换元件)组成,它在感受被测量时可以直接输出电量,如热电偶、压电晶体、光电池等。
光学码盘式传感器是用光电方法把被测角位移转换成以数字代码形式表示的电信号的转换部件。定义:是一种将温度变化转换为电量变化的装置。将温度转换为电势的传感器称为热电偶,转换为电阻值的称为热电阻。传感器工作原理的分类物理传感器应用的是物理效应,诸如压电效应,磁致伸缩现象,离化、化、热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电信号。 化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器,被测信号量的微小变化也将转换成电信号。