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振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。集成传感器:是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器:则是通过沉积在介质衬底（基板）上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器:是利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。
电化学传感器的工作原理电化学传感器通过与被测气体发生百反应并产生与气体浓度成正比的电信号来工作。大多数电化学气体传感器是电流传感器，产生与气体浓度成线性比例的电流。一个电化学气体传感器的工作原理如下:与传感器接触的目标气体分子首先通过一个冷凝的隔膜，它也起到防尘的作用。那么气体分子通过毛细管扩散，可能通过随后的过滤器，然后通过疏水膜到达感测电的表面。在那里分子立即被氧化或还原，从而产生或消耗电子，从而产生电流。
反映非线性误差的程度是线性度。线性度是以一定的拟合直线作基准与校准曲线作比较，用其不一致的大偏差△Lmax与理论量程输出值Y（=ymax—ymin）的百分比进行计算。稳定性在相同条件，相当长时间内，其输入/输出特性不发生变化的能力，影响传感器稳定性的因素是时间和环境。温度影响其零漂，零漂是指还没输入时，输出值间变化而变化。长期使用会产生蠕变现象。重复性:是衡量在同一工作条件下，对同一被测量进行多次连续测量所得结果之间的不一致程度的；（分散范围小，重复性越好）