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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
在自动化生产线中，磁性开关用于各类气缸的位置检测，用两个磁性开关来测机械手上气缸伸出和缩回到位的位置。磁力式接近开关(简称磁性开关)是一种非接触式位置检测开关，这种非接触式位置检测不会磨损和损伤检测对象，响应速度高。磁性开关用于检测磁性物质的存在，安装方式上有导线引出型、接插件式、接插件中继型，根据安装场所环境的要求磁性开关可选择屏蔽式和非屏蔽式。其外形所示。光纤式光电接近开关光纤式光电接近开关（简称光纤式光电开关）也是光纤传感器的一种，光纤传感器传感部分没有电路连接，不产生热量，只利用很少的光能，这些特点使光纤传感器成为危险环境下的理想选择。光纤传感器还可以用于关键生产设备的长期高稳定的监视。相对于传统传感器，光纤传感器具有下述优点:抗电磁干扰、可工作于恶劣环境、传输距离远、使用寿命长，此外，由于光纤头具有较小的体积，所以可以安装在很小的空间里面。光纤放大器根据需要来设置。比如有些生产过程中烟火，电火花等可能引起爆炸和火灾，光能不会成为火源，所以不会引起爆炸和火灾，可将光纤检测头设置在危险场所，将放大器单元设置在非危险场所进行使用。
度:简称精度，它表示传感器的输出结果与被测量的实际值之间的符合程度，是测量值的精密程度与准确程度的综合反映。分辨力是指传感器能检出被测量的小变化量。动态特性:反映了传感器对于间变化的动态量的响应特性，传感器的响应特性在所测频率范围内努力保持不失真测量条件。一般地，利用光电效应、压电效应等物性型传感器，响应时间快，工作频率范围宽。环境参数:指传感器允许使用的工作温度范围以及环境压力、环境振动和冲击等引起的环境压力误差，环境振动误差和冲击误差。