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传感器按工作机理物性型传感器是利用某种性质随被测参数的变化而变化的原理制成的(主要有:光电式传感器、压电式传感器)。结构型传感器是利用物理学中场的定律和运动定律等构成的(主要有电感式传感器;电容式传感器;光栅式传感器)。按被测物理量分类如位移传感器用于测量位移,温度传感器用于测量温度。按工作原理分类主要是有利于传感器的设计和应用。按传感器能量源分类无源型:不需外加电源。而是将被测量的相关能量转换成电量输出(主要有:压电式、磁电感应式、热电式、光电式)又称能量转化型;
利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后,其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容(包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容)影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量,ε为两板间介质的介电常数,S为板相互覆盖面积,d为板间距。
化学类即传感作用过程是化学过程,即传感作用过程导致气体化学性质发生变化,如半导体、催化、电化学等属于化学类气体传感器。生物类即传感作用过程是生物过程,即传感作用过程通过生物活动导致气体化学性质发生变化,该类传感器在普通工业、家庭中不太常用。用于检测易燃易爆气体的传感器,如氢气、一氧化碳、瓦斯、汽油挥发气等。用于检测有毒气体的传感器,如氯气、硫化氢、砷烷等。用于检测工业过程气体的传感器,如炼钢炉中的氧气、热处理炉中的二氧化碳。