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振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。集成传感器:是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器:则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器:是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。
传感器一般是由敏感元件、转换电路、转换原件组成。其中敏感原件是与被测物体相接触的原件,可以准确感受被测物体物理。转换原件是把敏感原件所探测到的物理量装换成电流信号,然后将电信号传送给转换电路。然后转换电路再将电信号转换成电量,以方便我们的识别。传感器的特性有静态和动态之分。静态特性:当传感器的输入物理量为一个固定数值,或者随着时间延长缓慢变化的时候,传感器与输入量之间的关系,我们称之为静态特性。动态特性:是指传感器输出量随着时间变化,输入量的响应特征叫动态特征。它取决于传感器的本身输出信号的形式。
传感器的标定与校准标定(计量学称之为定度)是指在明确传感器输入/输出变换关系的前提下,利用某种标准器具产生已知的标准非电量(或其它标准量)输入,确定其输出电量与其输入量之间的过程。校准是指传感器在使用前或使用过程中或搁置一段时间再使用时,对其性能参数进行复测或作必要的调整与修正,以确保传感器的测量精度。标定系统的组成:被测非电量的标准发生器;待标定传感器;它所配接的信号调节显示、记录器等。