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利用新材料更的性能来提高电感式传感器的性能是未来发展趋势之一。例如电感式接近开关其内部结构是在铁氧体磁芯上绕制线圈作为电感线圈,而铁氧体磁芯自身的限制使得电感式传感器不可能在已有的设计理念下发展,那么只能寻找新材料用来替代铁氧体线圈,从而生产出有性能的传感器。基于MEMS硅微加工技术,电感式传感器具有体积小、低功耗等特点,易于集成在各种模拟和数字电路中,便于在应用在各个领域。这也是传感器的主要发展方向之一。
当一次线圈接入激励电源后,二次线圈就将产生感应电动势,当两者间的互感量变化时,感应电动势也相应变化。由于两个二次线圈采用差动接法,故称为差动变压器式传感器,简称差动变压器。差动变压器的结构差动变压器结构形式较多,有变隙式、变面积式和螺线管线等。a、b两种结构的差动变压器,衔铁均为板形,灵敏度高,测量范围则较窄,一般用于测量几微米到几百微米的机械位移。(a)、(b)变间隙式差动变压器
其中B是磁通量密度,v是电子的速度,q是电子电荷。在上图中,正式由于其中磁场使电荷的运动偏转。将扁平导电条放置在磁场中,并将导电条的左右两侧的附加触点连接到电压表。导电条的下端和上端连接到电源,由于磁通量的存在,移动的电子在偏转力的作用下向带的右侧移动。这导致右侧比左侧更负,因此存在电位差。该电压称为霍尔电压,其大小和方向取决于电流和磁场的大小和方向。霍尔电压为计算公式为: