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指传感器在应用中输入变化时，它的输出的特性。用它对某些标准输入信号的响应来表示，即自控理论中的传递函数。实际工作中，便于工程项目中的采集、控制。稳定性表示传感器在一个较长的时间内保持其性能参数的能力。理想的情况是不论什么时候，传感器的特性参数都不间变化。但实际上，随着时间的推移，大多数传感器的特性会发生改变。这是因为敏感器件或构成传感器的部件，其特性会间发生变化，从而影响传感器的稳定性。
电容式接近传感器。电容式接近传感器也称为电容式接近开关，其电路框图如图4所示。电容式接近开关示意图电容式接近开关是以电容器的板作为其检测面，而检测面外部所面对的物质，则是电容器两个板之间的缘介质，若该缘介质发生变化，则电容器的电容量也将随之变化。无论金属或非金属的被测物体，在接近或离开电容式接近开关时，都会引起接近开关电容器的介电常数发生变化，从而使得电容式接近开关能够输出相应的开关信号。因此，电容式接近开关所检测的物体，并不限于金属导体，也可以是缘的液体或粉状物体。使用的电容式接近开关
反映非线性误差的程度是线性度。线性度是以一定的拟合直线作基准与校准曲线作比较，用其不一致的大偏差△Lmax与理论量程输出值Y（=ymax—ymin）的百分比进行计算。稳定性在相同条件，相当长时间内，其输入/输出特性不发生变化的能力，影响传感器稳定性的因素是时间和环境。温度影响其零漂，零漂是指还没输入时，输出值间变化而变化。长期使用会产生蠕变现象。重复性:是衡量在同一工作条件下，对同一被测量进行多次连续测量所得结果之间的不一致程度的；（分散范围小，重复性越好）