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模拟霍尔效应传感器与基本霍尔传感器相比,模拟霍尔效应传感器在更宽的电压范围内工作,并且在嘈杂的环境中也很稳定。下图显示了模拟输出霍尔效应器件,它产生的模拟电压与它所暴露的磁场成正比。放大器具有偏置或固定偏移,因此当磁场不存在时,偏置电压出现在输出端,这被认为是零电压。霍尔元件处的磁场可以是正的也可以是负的。因此,当感测到正磁场时,输出电压增加到高于零值,而当感测到负磁场时,输出降低到零值以下。
电阻率(电导率)因施加在该电阻上的压力而变化的现象称为压阻效应。罗姆的气压传感器IC将使用压阻式压力接收元件(隔膜结构和压阻集成在一起MEMS),以及温度校正处理、控制电路等的集成电路(ASIC)集成在一个封装里,可以轻松获得高精度的气压信息。加速度是指单位时间内产生的速度,测量加速度的IC就叫加速度传感器。通过测量加速度,可以测得物体的倾斜、振动等信息。加速度单位为m/s2(单位制SI)。另外,单位G是以标准重力(1 G = 9.806 65m/s2)为基准的加速度值。还有用于检测地震震动的加速度的单位Gal(CGS单位制)。
自动驾驶技术的兴起,也进一步推动了MEMS传感器进入汽车领域。自动驾驶汽车需要大量的传感器进行感知定位,其中自动驾驶系统中的传感器主要包括摄像头、红外传感器、毫米波雷达、中短距离毫米波雷达、长距离毫米波雷达、激光雷达、超声波雷达等。在工业生产领域,传感器应用广泛,工业生产各个环节都需要传感器进行监测,并把数据反馈给控制中心,以便对出现异常节点进行及时干预,工业生产正常进行。在工业机器人中,主要应用的传感器有位置传感器、接近传感器、速度传感器、力觉传感器、触觉传感器、视觉传感器、气压传感器等。