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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
电化学传感器未来发展趋势随着物联网的兴起和人们对环境关注度的持续升高，电化学传感器在领域应用也是更加广泛了。电化学因为其体积小，灵敏度高，装配便捷成为了传感器领域的新兴的产品。随着新型功能化纳米材的不断涌现，电化学传感器的一些缺陷将被克服，并在农业，环境监控和医疗领域展现其应用价值，尤其是在新型的物联网建设中，电化学更体现出了它的价值。据麦姆斯咨询报道，法国原子能委员会电子与信息技术实验室（CEA-Leti）开发出了一种采用中红外硅光子学技术的下一代光学化学传感器原型，可以集成在智能手机和其它便携式设备中。
应用型传感器:是基本型传感器或组合型传感器与其他机构组合而构成的传感器。按作用形式可分为主动型和被动型传感器。主动型传感器:又有作用型和反作用型，此种传感器对被测对象能发出一定探测信号，能检测探测信号在被测对象中所产生的变化，或者由探测信号在被测对象中产生某种效应而形成信号。检测探测信号变化方式的称为作用型，检测产生响应而形成信号方式的称为反作用型。雷达与无线电频率范围探测器是作用型实例，而光声效应分析装置与激光分析器是反作用型实例。