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自动驾驶技术的兴起,也进一步推动了MEMS传感器进入汽车领域。自动驾驶汽车需要大量的传感器进行感知定位,其中自动驾驶系统中的传感器主要包括摄像头、红外传感器、毫米波雷达、中短距离毫米波雷达、长距离毫米波雷达、激光雷达、超声波雷达等。在工业生产领域,传感器应用广泛,工业生产各个环节都需要传感器进行监测,并把数据反馈给控制中心,以便对出现异常节点进行及时干预,工业生产正常进行。在工业机器人中,主要应用的传感器有位置传感器、接近传感器、速度传感器、力觉传感器、触觉传感器、视觉传感器、气压传感器等。
下面列举一个实例说明:汽车车门状态显示:现在汽车一般都有该功能了。这里使用了霍尔传感器,只要再配置一块小永久磁铁就很容易做成车门是否关好的指示器,配置电路示意如下:三片开关型霍尔传感器分别装在汽车的四个门框上,在车门适当位置各固定一块磁钢,当车门开着时,磁钢远离霍尔开关,输出端为高电平。若四个门中有一个未关好,则或非门输出为低电平,红灯亮,表示还有门未关好,若三个门都关好,则或非门输出为高电平,绿灯亮,表示车门关好,司机可放心开车。
用于流量测量的霍尔效应传感器。该腔室设有流体流入和流出的开口,流体流过这些开口。带有螺纹轴布置的弹簧加载桨使磁性组件朝向霍尔磁体来回移动。随着通过腔室的流速增加,弹簧加载的桨叶转动螺纹轴。因此,当轴转动时,磁性组件会向上升高,从而使传感器通电。当流量减少时,弹簧线圈会导致磁性组件下降。因此,换能器输出降低。整个布置经过校准,使得测得的电压和流速之间存在线性关系。在这种方法中,霍尔效应传感器用于确定浮子的高度,从而测量罐中的液位。下图说明了浮子和霍尔效应元件在罐中的布置。浮子附有一块磁铁,这样它的驱动就会改变离霍尔元件远近的磁场距离。