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度:简称精度,它表示传感器的输出结果与被测量的实际值之间的符合程度,是测量值的精密程度与准确程度的综合反映。分辨力是指传感器能检出被测量的小变化量。动态特性:反映了传感器对于间变化的动态量的响应特性,传感器的响应特性在所测频率范围内努力保持不失真测量条件。一般地,利用光电效应、压电效应等物性型传感器,响应时间快,工作频率范围宽。环境参数:指传感器允许使用的工作温度范围以及环境压力、环境振动和冲击等引起的环境压力误差,环境振动误差和冲击误差。
光电导效应。当入射光子射入到半导体表面时,半导体吸收入射的光子产生电子空穴对,使其自身电导率发生变化的现象(光敏电阻、光电二管、光电三管)。光生伏特效应。光照射引起PN结两端产生电动势(光电池)。红限频率:产生光电效应所需照射光的频率叫做红限频率(又称截止频率)。逸出功:电子克服原子核的束缚,从材料表面逸出所需的小能量,称为逸出功。爱因斯坦光电效应方程:光子能量=移出一个电子所需的能量(逸出功)+被发射的电子的动能。其数学表达式为:Ek=hν-Wo(其中,Ek 表示逸出的光电子所具有的动能,普朗克常量h=6.626×10ˉ34 J·s,ν 表示入射光的频率,Wo表示逸出功 )。
硫化氢是一种无、具有腐蛋臭味的可燃气体,具有刺激性和窒息性,对人体有较大危害。大多用比法和气相谱法测定空气中硫化氢。对含量常常低至mg/m3级的空气污染物进行测定是气体传感器的一项主要应用,但在短时期内半导体气体传感器还不能满足监测某些污染气体灵敏度和选择性要求。掺银薄膜传感器阵列由四个传感器构成,通过基于库化滴定的通用分析装置和半导体气体传感器阵列的信号,同时记录二氧化硫和硫化氢浓度,实践表明,在150℃下以恒温方式的掺银薄膜传感器用于监测城市空气中的硫化氢含量,效果良好。