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光电检测方法具有精度高、反应快、非接触等优点,而且可测参数多,传感器的结构简单,形式灵活多样,因此,光电式传感器在检测和控制中应用广泛。光电传感器是各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件,它是把光信号(可见及紫外镭射光)转变成为电信号的器件。光电式传感器是以光电器件作为转换元件的传感器。它可用于检测直接引起光量变化的非电物理量,如光强、光照度、辐射测温、气体成分分析等;也可用来检测能转换成光量变化的其他非电量,如零件直径、表面粗糙度、应变、位移、振动、速度、加速度,以及物体的形状、工作状态的识别等。光电式传感器具有非接触、响应快、性能等特点,因此在工业自动化装置和机器人中获得广泛应用。新的光电器件不断涌现,是CCD图像传感器的诞生,为光电传感器的进一步应用开创了新的一页。
纯半导体在光线照射下,其禁带中的电子受到能量大于或等于禁带宽度Eg(eV)的光子的激发,由价带越过禁带跃迁到导带,成为自由电子。同时,价带也因此而形成自由空穴。致使纯半导体中导带的电子和价带的空穴浓度增大,半导体电阻率减小。电子和空穴统称为载流子。它们在端电压作用下均可形成光电流。当光照停止后,自由电子被失去电子的原子俘获,电阻又恢复原值。能使价带电子跃迁到导带的光谱范围中,其大的波长λ0(nm)称为截止波长,λ0≈1240/Eg。
当一次线圈接入激励电源后,二次线圈就将产生感应电动势,当两者间的互感量变化时,感应电动势也相应变化。由于两个二次线圈采用差动接法,故称为差动变压器式传感器,简称差动变压器。差动变压器的结构差动变压器结构形式较多,有变隙式、变面积式和螺线管线等。a、b两种结构的差动变压器,衔铁均为板形,灵敏度高,测量范围则较窄,一般用于测量几微米到几百微米的机械位移。(a)、(b)变间隙式差动变压器