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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
它的基本特性有:测量范围、灵敏度、过载能力、稳定性、重复性、环境参数、分辨参数、度等。下面来说一下传感检测技术经常使用现代科学技术的机电一体化系统的朋友都知道，传感检测技术是我们现代科学生产设备的关键技术之一，它可以进行信息获取、信息传输、信息转换、信息处理等功能，从而使我们所要检测的物理量，以简洁明了的形式向我们展现出来。就像是电脑app与编程源码之间的关系，一个是的本质的问题，一个是大众能够看得懂、可以使用的东西。主要应用于机电一体化技术中、加工制造中心、计算机行业等高新技术产业区中。
二氧化硫是污染空气的主要物质之一，检测空气中二氧化硫尝试是空气检验的一项经常性工作。应用传感器监测二氧化硫。从缩短检测时间到降低检出限，都显示出大的性。利用固体聚合物作离子交换膜，膜的一边含对电和参比电的内部电解液，另一边插入铂电，组成一种二氧化硫传感器。该传感器安装在流通池中，在0.65V下氧化二氧化硫。批示出二氧化硫的量。该传感装置电流灵敏度高。响应时间短，稳定性好，本底噪音低，线性范围达0.2mmol/L，检出限为8*10-6mmol/L，信噪比为3。该传感器不仅可以测定空气中的二氧化硫，还可用于测定低电导率液体中的二氧化硫。有机改性硅酸盐薄膜二氧化硫气体传感器的气敏涂层是利用溶胶工艺和自旋技术制作的，对二氧化硫的测定具有良好的重现性和可逆性，响应时间不到20S，对其它气体的交感小，受温度和湿度影响小。