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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
有些传感器既不能划分到物理类，也不能划分为化学类。大多数传感器是以物理原理为基础运作的。化学传感器技术问题较多，例如性问题，规模生产的可能性，价格问题等，解决了这类难题，化学传感器的应用将会有巨大增长。贴标机上检测卷筒标签的传感器分为透射式和反射式两种，其中 常用的为透射式传感器。透射传感器的原理是:利用安放在标签上 方的红外线发射器发出不可见的光束，而在标签下面的接收器则用来 接收透射过标签的红外线能量。由于卷筒标签运动时透射过的红外线 的数量周期变化，所以传感器根据这种变化，发出自动贴标的指令。
生物量传感器:血压、血糖、血脂、心率等。传感器按照传感过程中信息和传感器的作用过程的属性分类，传感器可以分为物理类、化学类、生物类。其中气体传感器是测量气体成分和浓度的化学量传感器。气体传感器按气体与传感器的作用方式分类:物理类、化学类、生物类。物理类即传感作用过程是物理过程，即传感作用过程不导致气体化学性质发生变化，如热传导、红外吸收、表面声波、QCM等属于物理类气体传感器。