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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
味敏传感器（电子舌）电子舌是模拟人的舌头对待测样品进行分析、识别和判断，用多元统计方法对得到的数据进行处理，地反映出样品整体的质量信息，实现对样品的识别和分类。是一种利用多传感阵列为基础，感知样品的整体特征响应信号，对样品进行模拟识别和定量定性分析的一种检测技术。主要由味觉传感器阵列、信号采集系统和模式识别系统3部分组成。传感器（transducer或sensor）是将各种非电量按一定规律转换成便于处理和传输的另一种物理量（一般为电量）的装置。
电化学传感器未来发展趋势随着物联网的兴起和人们对环境关注度的持续升高，电化学传感器在领域应用也是更加广泛了。电化学因为其体积小，灵敏度高，装配便捷成为了传感器领域的新兴的产品。随着新型功能化纳米材的不断涌现，电化学传感器的一些缺陷将被克服，并在农业，环境监控和医疗领域展现其应用价值，尤其是在新型的物联网建设中，电化学更体现出了它的价值。据麦姆斯咨询报道，法国原子能委员会电子与信息技术实验室（CEA-Leti）开发出了一种采用中红外硅光子学技术的下一代光学化学传感器原型，可以集成在智能手机和其它便携式设备中。