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传感器按工作机理物性型传感器是利用某种性质随被测参数的变化而变化的原理制成的(主要有:光电式传感器、压电式传感器)。结构型传感器是利用物理学中场的定律和运动定律等构成的(主要有电感式传感器;电容式传感器;光栅式传感器)。按被测物理量分类如位移传感器用于测量位移,温度传感器用于测量温度。按工作原理分类主要是有利于传感器的设计和应用。按传感器能量源分类无源型:不需外加电源。而是将被测量的相关能量转换成电量输出(主要有:压电式、磁电感应式、热电式、光电式)又称能量转化型;
常用的标准动态激励设备有激振器、激波管、周期与非周期函数压力发生器;(其中激振器可用于位移、速度、加速度、力、压力传感器的动态标定)传感器与检测技术的发展方向:开发新型传感器。传感检测技术的智能化。复合传感器⑷研究生物感官,开发仿生传感器。开发新型传感器:利用新材料制作传感器;利用新加工技术制作传感器;采用新原理制作传感器。传感检测技术的智能化:传感检测系统目前迅速地由模拟式、数字式向智能化方向发展。
振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。集成传感器:是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器:则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器:是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。