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利用硅的压阻效应和微电子技术制成。压阻效应:单晶硅在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化。定义:是将被测参数转换成电容量的测量装置。与电阻、电感式传感器相比具有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单等优点。缺点:寄生电容（包括连接电容板的导线电容和传感器本身的泄露电容）影响较大。电容的公式: ,式中:C为电容量，ε为两板间介质的介电常数，S为板相互覆盖面积，d为板间距。
电化学传感器可以用在对气体的检测上，它基本上可以检测的大气污染物，包括碳氢化物，羰基化合物、硫化物、硫氧化物、氮氧化物、氮的还原物和其它气态物质。离子传感器则是水体和土壤污染物检测的有力手段，能测定许多离子及有机物，包括卤素离子、氰化物、各类金属离子、酸根离子，有机污染物等，PH值和氟的测定是其*典型的应用。部分离子传感器还可用于气体污染物分析。电化学生物传感器则可以用在水体检测以及大气环境监测上面，如监测水体的富营养化，BOD和重金属离子浓度，大气中SO2、CO2和NO2等。
电化学传感器的分类电化学传感器的分类方法很多，按照其输出信号的不同可以分为电位型传感器、电流型传感器和电导型传感器。按照电化学传感器所检测的物质不同，电化学传感器主要可以分为离子传感器、气体传感器和生物传感器。电化学传感器主要性能与影响因素影响灵敏度因素主要有:催化剂活性、进气量、电解液导电能力、环境温度等影响响应恢复速度的因素主要有:催化剂活性、电解液导电能力、气室结构、气体特性等