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  当半导体光电器件的光灵敏面受光照不均匀时,由载流子浓度梯度而产生的光电效应称为侧向光生伏特效应。基于该效应工作的光电器件有半导体位置敏感器件(简称PSD),或称反转光敏二管。侧向光生伏特效应的工作机理是,半导体光照部分吸收人射光子的能量产生电子空穴对,使该部分载流子浓度高于未被光照部分,因而出现了浓度梯度,形成载流子的扩散。由于电子迁移率比空穴的大,因此电子首先向未被光照部分扩散,致使被光照部分带正电,未被光照部分带负电,两部分之间产生光电动势。

  光生伏特效应 物块(如半导体器件)在光的照射下能导致务必方向的电动势的情况称作光生伏特效应。基。于该效应的半导体器件有光电池、光敏二管和光敏三管。光生伏特效应根据其导致电势差的基本原理可分为:侧边光生伏特效应侧边光生伏特效应又称殿巴(Dember)效应。当半导体器件半导体器件的光机敏面受光照不均匀时,由载流子浓度梯度而导致的光电效应称作侧边光生伏特效应。依据该效应工作上的半导体器件有半导体器件位置敏感电子器件(统称PSD),或称旋转光敏二管。

  自动驾驶技术的兴起,也进一步推动了MEMS传感器进入汽车领域。自动驾驶汽车需要大量的传感器进行感知定位,其中自动驾驶系统中的传感器主要包括摄像头、红外传感器、毫米波雷达、中短距离毫米波雷达、长距离毫米波雷达、激光雷达、超声波雷达等。在工业生产领域,传感器应用广泛,工业生产各个环节都需要传感器进行监测,并把数据反馈给控制中心,以便对出现异常节点进行及时干预,工业生产正常进行。在工业机器人中,主要应用的传感器有位置传感器、接近传感器、速度传感器、力觉传感器、触觉传感器、视觉传感器、气压传感器等。

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